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      溶液成分對鑫恒力蝕刻機腐蝕速度的影響

      1FeCl3濃度對蝕刻速度的影響:FeCl3蝕刻液中隨FeCl3濃度的增高,蝕刻速度加快。當所含FeCl3超過某一濃度時,由于蝕刻機溶液黏度增加,腐蝕速度反而有所下降。對于采用抗蝕印料或抗蝕干膜的銅零件,濃度可控制在35°波美度左右;采用液體光致蝕劑(如骨膠、聚乙烯醇等)的銅零件。濃度控制在42°波美度左右。通常情況下,蝕刻機藥箱內藥水濃度在350g/L-600g/L為宜。

      2)鹽酸的添加量對鑫恒力蝕刻機的腐蝕速度影響:在腐蝕機中加入鹽酸,一則可以抑制FeCl3CuCl2的水解;二則可提高蝕刻速度。特別是當蝕刻液中銅含量大道37.4g/L后,鹽酸的作用更加明顯。但這應根據不同的抗蝕層材料選擇合適的酸度,如果抗蝕層選擇骨膠、明膠、聚乙烯醇等光致抗蝕層,則不能用太高的酸度,否則,抗蝕層易于被破壞。對于感光樹脂抗蝕劑及絲網印刷抗蝕層,則可以選擇較高的酸度。

      3)溫度對蝕刻速度的影響:在FeCl3蝕刻工藝中,隨溫度的升高,蝕刻機中工件的腐蝕速度明顯加快。比如在50℃時,全新蝕刻液對銅的蝕刻速度可達到10μm/min。但在實際生產中,都是采用常溫蝕刻方法。FeCl3對銅的蝕刻是一個放熱反應,隨著蝕刻的進行,蝕刻機中藥水溫度會逐漸升高,蝕刻速度加快。隨著FeCl3的消耗,蝕刻速度也會下降。同時這一升溫過程也比較緩慢,所以在整個蝕刻過程中蝕刻速度變化不大。

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